PMS

PMS 2018-04-02T14:20:15+00:00

PMS(Powder Moving System)

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-제품 개요-
PMS (Powder Moving System)

질소가스 분사를 통한 Powder 유착 방지 제품
반도체 및 FPD 공정 중 부산물이 생기는 공정에서 HOT N2를 분사시켜 배기라인내 응축물이 적재되는 문제를 해결

Specification

Item Description 특징
Model PMS *반도체 및 LCD, OLED 공정 진행시 생성되는 반응 부산물의 배기라인 clogging 문제 해결

*Fore line 및 Exhaust line의 powder 누적 감소

*목표 유량 및 적정 압력의 HOT N2 분사 가능

*배관내의 산화물 생성 억제

*유지보수 비용 절감 및 설비 생산 극대화

*협소한 공간내 배관 및 설비 (PUMP, SCRUBBER)에 적용 가능

Main Function Hot N2 고압 분사
Material SUS 304 / 316
In / Out-Let NW 40/40, NW 40/50, NW 50/50 or etc.
Utility Use N2
Pressure 3~5kg/cm2
Flow 30 ~ 200LPM
Connect 1/4 or 3/8
Heater Capacity 500W or 800W
Temperature 150 ± α
Power Supply 208 ~ 230V A.C 1Phase 50/60 Hz
Control Type PID
Communication RS232 or RS485

*표를 좌우로 드래그하여 보시기 바랍니다.

PMS MODULE

PMS MODULE-L TYPE

CONTROLLER

CONTROLLER