Heating Jacket

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Heating Jacket 2018-04-04T10:04:19+00:00

Heating Jacket

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-제품 개요-
Heating Jacket

특수섬유재질로 전 배기라인 목표 온도를 균일하게 유지하여 불순물 적재를 최소화함
복잡한 추가 장치 없이 Heating Jacket을 이용하여 진공 배관을 균일하게 가열해줌으로써
반도체 및 FPD 공정 중 Chamber내 Gas line, Fore Line 및 전체 Exhaust Line에 다량의 반응성 응축 부산물이 적층되는 문제를 해결

Specification

Item Description 특징
Operating Temp Standard Temp 120~180℃
Maximum Temp 250℃
*부드러운 원단 재질로 다양한 customizing 가능
*복잡한 modification 가능하고, 밀착성 우수
*2중 inter-lock 기능으로 과열방지 (1차: Bimetal / 2차: Fuse 적용 가능)
*뛰어난 보온성 소재 적용으로 대기중 열 손실 최소화 (표면온도유지 tolerance: ±5℃)
*고장감지 시스템 적용
*유지보수가 용이한 탈부착
*고유연성으로 인한 고밀착도 우수
*Jacket별 관리로, 출고이력 및 repair maintenance 편리
 Voltage 220VAC, 50/60㎐
Outer Cloth(외피) Silicone Coated E-Glass Cloth
Teflon Coated E-Glass Cloth
PTFE 100%
Silica Cloth
Dual Mirror Aluminized Cloth
Inner Cloth(내피) Silicone Coated E-Glass Cloth
Teflon Coated E-Glass Cloth
PTFE 100%
Silica Cloth
Heat Insulator Silica Needle Mat
Heater Element Nickel-chrome Wire  /  NCHW-1
Thermal Fuse Bimetal / Normal Close-Type
Thermal Fuse Bimetal / Normal Close-Type
Sensor K-Type Thermocouple
Fastener PPS Velcro, Dot Button
Certificate certificate1  certificate2

*표를 좌우로 드래그하여 보시기 바랍니다.

100% PTFE Jacket

100% PTFE Jacket

고장감지기

3 Way N2 Curtain Valve( Hot-Gun Type)

Heating Jacket

Flexible Heating배관 + Heating Jacket