EPD

EPD 2018-04-02T14:21:48+00:00

EPD(Exhaust Pressure Detector)

title_line-2

-제품 개요-
EPD (Exhaust Pressure Detector)

배기라인 막힘현상에 대한 배기압력 실시간 모니터링
EPD 시스템은 배기라인 공정 막힘에 대한 모니터링이 가능하여 PM 예측이 가능함.
또한 Gas leaking, Vacuum pump trip (Wafer사고 및 수리비 발생)등 물리적 손실을 예방하고, 사전에 감지할 수 있음

Specification

Item Description 특징
Model EPD *Exhaust line쪽 실시간 Pressure sensing 기능

*반도체 및 LCD, OLED 공정 진행시 생성되는 반응 부산물의 배기라인 clogging 문제 해결

*Alarm setting  기능

*Fore line 및 Exhaust line의 powder 누적 감소

*목표 유량 및 적정 압력의 HOT N2 분사 가능

*배관내의 산화물 생성 억제

*유지보수 비용 절감 및 설비 생산 극대화

*협소한 공간내 배관 및 설비 (PUMP, SCRUBBER)에 적용 가능

Main Function Hot N2 고압 분사 및 배관 Pressure Monitoring
Material SUS 304 / 316
In / Out-Let NW 40/40, NW 40/50, NW 50/50 or etc.
Utility Use N2
Pressure 3~5kg/cm2
Flow 30 ~ 200LPM
Connect 1/4 or 3/8
Heater Capacity 500W or 800W
Temperature 150 ± α
Power Supply 208 ~ 230V A.C 1Phase 50/60 Hz
Control Type PID
Communication RS232 or RS485
Option 압력 정보 저장_8GB(1)

*표를 좌우로 드래그하여 보시기 바랍니다.

EPD Monitoring DATA

EPD MODULE

EPD CONTROLLER

EPD-200