PMS

PMS 2018-05-02T11:49:10+00:00

PMS(粉体輸送システム)

title_line-2

-製品概要-
PMS(粉体輸送システム)

窒素ガス噴射による粉体癒着防止製品
半導体およびFPD工程において、副産物が生成する工程でホットN2を噴射することで、排気ライン内に凝縮物が堆積するトラブルを解決。

仕様

項目 説明 特徴
製品名 PMS *半導体およびLCD・OLED工程進行中に生成する反応副産物の排気ラインのつまりトラブルを解決。

*フォアラインおよび排気ラインへの粉体堆積減少。

*目標流量および適正圧力のホットN2 噴射可能。

*配管内での酸化物の生成抑制。

*メンテナンスコストの削減および設備生産の極大化。

*狭い空間内の配管および設備(ポンプ、スクラバー)に適用可能。

主要機能 高温窒素(N2) 高圧噴射
素材 SUS 304 / 316
流入口 / 排出口 NW 40/40、NW 40/50、NW 50/50 など
ユーティリティ 用途 N2
圧力 3~5kg/cm2
流速 30 ~ 200LPM
接続装置 1/4” または 3/8”
Heater Capacity 500W または 800W
Temperature 150 ℃ ± α
Power Supply 208 ~ 230V A.C 1相 50/60 Hz
Control Type PID
Communication RS232 または RS485

*표를 좌우로 드래그하여 보시기 바랍니다.

PMS モジュール

PMS モジュール Lタイプ

制御装置

制御装置