加熱ジャケット

//加熱ジャケット
加熱ジャケット 2018-05-02T13:35:18+00:00

加熱ジャケット

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-製品概要-
加熱ジャケット

特殊繊維で全排気ラインの目標温度を均一に保つことで不純物の堆積を最小化
複雑な追加装置を必要せず、加熱ジャケットを用いて真空バルブを均一に加熱することで、
半導体およびFPD工程中のチャンバー内ガスライン、フォアライン、および全体の排気ラインへの多量の反応性凝縮副産物の堆積トラブルを解決

仕様

製品名 説明 特徴
動作温度 標準温度 120~180℃
最大温度250℃
*柔軟性に優れた素材で、要求に応じてカスタマイズ製作可能。
*複雑な変形に対応でき、密着性に優れる。
*二重インターロック機能で過熱防止(1次:バイメタル / 2次:ヒューズに適用可能)
*優れた保温性素材を適用することで、大気中熱損失の最小化 (表面温度維持公差:±5℃)
*故障検知システムの適用。
*脱付着できるので、メンテナンスしやすい。
*高柔軟性および高密着性。
*ジャケットごとに管理できるので、出庫履歴およびメンテナンスが便利。
電圧 220VAC, 50/60㎐
外皮 シリコンコーティング E-ガラス繊維
テフロンコーティング E-ガラス繊維
PTFE 100%
シリカ繊維
両面アルミコーティング反射繊維
内皮 シリコンコーティング E-ガラス繊維
テフロンコーティング E-ガラス繊維
PTFE 100%
シリカ繊維
断熱材 シリカニードルマット
発熱体 ニクロムワイヤー / NCHW -1
温度ヒューズ バイメタル / ノーマルクローズタイプ
温度ヒューズ バイメタル / ノーマルクローズタイプ
感知器 K タイプ 熱電対
ロッキング装置 PPS ベルクロ、スナップボタン
認証 certificate1  certificate2

*표를 좌우로 드래그하여 보시기 바랍니다.

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