EPD

EPD 2018-05-02T11:58:48+00:00

EPD(排気圧力計)

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-製品概要-
EPD(排気圧力計)

排気ラインの詰まり現象に対する排気圧力へのリアルタイムモニタリング
EPDシステムは、排気ライン工程のつまりトラブルへのモニタリングが可能で、PM予測が可能である。
また、ガス漏れや真空ポンプ停止(ウェハートラブルおよび修理費の発生)などの物理的な損傷を予防し、事前に検知できる。

仕様

項目 説明 特徴
製品名 EPD *排気ライン側のリアルタイム圧力監視機能。

*半導体およびLCD・OLED工程進行中に生成する反応副産物の排気ラインのつまりトラブルを解決。

*アラーム設定機能。

*フォアラインおよび排気ラインへの粉体堆積減少。

*目標流量および適正圧力のホットN2 噴射可能。

*配管内での酸化物の生成抑制。

*メンテナンスコストの削減および設備生産の極大化。

*狭い空間内の配管および設備(ポンプ、スクラバー)に適用可能。

主要機能 高温窒素(N2)高圧噴射および配管の圧力監視
素材 SUS 304 / 316
流入口 / 排出口 NW 40/40、NW 40/50、NW 50/50 など
ユーティリティ 用途 N2
圧力 3~5kg/cm2
流速 30 ~ 200LPM
接続装置 1/4 or 3/8
暖房器容量 500W or 800W
温度 150 ℃ ± α
電源供給 208 ~ 230V A.C 1相 50/60 Hz
制御 PID
通信 RS232 または RS485
オプション 入力情報の保存:8GB (約1年)

*표를 좌우로 드래그하여 보시기 바랍니다.

EPD 監視データ

EPD モジュール

EPD 制御装置

EPD-200