Hot-Gun (ガス瞬間加熱装置)

真空ラインを用いたホットガンの機能

  • ガスラインのコンディション管理 : フローガスの熱エネルギーを増加させ、ガスラインのコンディションを管理
  • 収率上昇 : プロセスチャンバーのコンディションを上昇させ収率増加
  • パーティクルの最少化 :ヒートアップガスフローによってパーティクル問題を最少化

排気ラインを用いたホットガンの機能

  • ガス希釈プロセス･高温の窒素ガスフローによるガス希釈プロセス
  • 粉塵生成の抑制･Δt発生を最少化し、粉塵生成を抑制
  • P.M周期減少 粉塵生成抑制によってP.M周期が減少

ホットガンの長所

  • コンパクトなサイズ構成で設置スペース制限問題を改善
  • フローガスの温度管理によって効率的なシステム運用
  • 設置場所に合わせたカスタム機能

PMS 仕様

Classification Item Description
共通項目 Power Single Phase 208 ~ 230 VAC. 50/60Hz
Temp. Control P.I.D Control (Sensor : K-Type)
N2 Pressure Source 5.0 kg/cm2 ↑
Material STS 316
小型 Operation Temp. Max. 200℃
N2 Flow Rate Max. 100 SLM
中型 Operation Temp. Max. 300℃
N2 Flow Rate Max. 500 SLM
大型 Operation Temp. Max. 200℃
N2 Flow Rate Max. 1,500 SLM