EPD (Exhaust Line Pressure Detector)

EPDの機能

  • 排気ライン圧力モニタリング : 排気ラインの圧力をリアルタイムでモニタリングして、圧力上昇によって発生し得る工程問題を防ぐ
  • 中和 : 高温の窒素ガスを利用したガス希釈プロセス
  • 輸送 : 配管壁面に噴射される高温の窒素ガスによって、速いスピードで副産物が輸送されるため、配管内部に副産物が堆積するのを防ぐ
  • 熱エネルギー活性化 : 高温の窒素ガスの噴射で副産物を活性化させ、配管内部に副産物が堆積するのを防ぐ

EPDの長所

  • 圧力を計測して事故発生可能性がある脆弱部分(配管連結部分及びベローズ部分)の圧力を確認
  • FDC連結によるリアルタイムのモニタリングやインターロック機能で効率的な管理
  • 粉塵生成及び堆積防止
  • 配管内部の酸化物生成を抑制し、P.M周期減少による設備の生産性向上
  • 維持補修費用の減少

PMS 仕様

Item Description
Power Single Phase 208 ~ 230 VAC. 50/60Hz
Operation Temp. Max. 200℃
N2 Flow Rate Max. 200 SLM
N2 Pressure Source 5.0 kg/cm2 ↑
Communication RS-485 Modbus Type
Sealing Material None
Material STS 316