EPD기능 ┃Exhaust Pressure Detector

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Exhaust 배관 상태 FAB에서 상시 Monitoring 가능

  • Exhaust Pressure Sensing 가능
  • Warning / Alarm Setting 기능
  • Hot N2 온도 확인 기능
  • Hot N2 공급 상태 확인 기능
  • Controller 상태 확인 기능