PMS특징 ┃Powder Moving System

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  • 반도체 및 LCD 공정 진행시 생성되는 반응 부산물의 배기라인 Clogging 문제 해결.
  • 필요한 적정 유량 / 적정 압력의 Hot N2 분사 가능.
  • Fore Line 및 Exhaust Line 의 Powder 누적 감소.
  • 배관내의 산화물 생성 억제.
  • 유지보수비용 절감 및 설비 생산성 극대화.
  • 공간이 좁은 배관 및 설비(Pump, Scrubber)에 적용 가능.