PMS

PMS 2018-04-26T18:25:05+00:00

PMS (除粉系统)

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-产品概览-
PMS (除粉系统)

喷射氮气防止粉末聚结的产品
在半导体和FPD工艺中形成副产物的过程中,喷射Hot N2可解决排气管的堵塞问题。

规格

项目 说明 特点
模型 PMS *可解决在半导体、LCD和OLED工艺中形成的反应副产物堵塞排气管的问题。

*减少粉末积聚于前级管道和排气管内

*可喷射目标流量和适当压力的hotN2

*抑制管内氧化物的形成

*减低维护成本和最大化提高设备生产效率

*适用于狭窄空间内的排管和设备(泵、洗涤器)

主要功能 Hot N2高压注射
材料 SUS 304 / 316
出/入口尺寸 NW 40/40, NW 40/50, NW 50/50 等
效用 用途 N2
压力 3~5kg/cm2
流量 30 ~ 200LPM
连接 1/4” 或 3/8”
Heater Capacity 500W 或 800W
Temperature 150 ± α
Power Supply 208 ~ 230V A.C 1Phase 50/60 Hz
Control Type PID
Communication RS232 或 RS485

*표를 좌우로 드래그하여 보시기 바랍니다.

PMS MODULE

PMS MODULE-L TYPE

CONTROLLER

CONTROLLER