EPD

EPD 2018-04-30T11:04:43+00:00

EPD(Exhaust Pressure Detector)

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-产品概览-
EPD (Exhaust Pressure Detector)

实时监测有关排气管堵塞现象的排气压力
EPD系统能够监测管道堵塞和预测PM,
此外,可预防和预先感应如气体泄漏、真空泵跳闸 (晶圆事故及修理费用)等的物理损失。

规格

项目 说明 特点
模型 EPD *排气管内的实时压力感测功能

*可解决在半导体、LCD和OLED工艺中形成的反应副产物堵塞排气管的问题。

*警报设定功能

*减少粉末积聚于前级管道和排气管内

*可喷射目标流量和适当压力的hotN2

*抑制管内氧化物的形成

*减低维护成本和最大化提高设备生产效率

*适用于狭窄空间内的排管和设备(泵、洗涤器)

主要功能 Hot N 高压注射和监测管道压力
材料 SUS 304 / 316
出/入口尺寸 NW 40/40, NW 40/50, NW 50/50等
效用 用途 N2
压力 3~5kg/cm2
流量 30 ~ 200LPM
连接 1/4” 或3/8”
加热器容量 500W 或800W
温度 150 ± α
电源 208 ~ 230V A.C 1Phase 50/60 Hz
控制方式 PID
通信 RS232 或RS485
选项 输入存储: 8GB (约1年)

*표를 좌우로 드래그하여 보시기 바랍니다.

EPD监测数据

EPD模组

EPD控制器

EPD-200