气体瞬时加热装置

真空管路应用热枪功能

  • 气体管线状态管理是通过增加流动气体的热能来管理气体管线状态
  • 良率提高是通过提高处理舱（Process Chambe）的条件来提高良率
  • 颗粒最小化是通过加热气流将颗粒问题最小化

排气管应用热枪功能

  • 工艺气体稀释是通过加热N2 气体进行工艺气体稀释
  • 抑制粉末生成是通过最大限度地减少Δt发生以抑制粉末生成
  • 减少P.M周期是通过抑制粉末生成减少P.M周期

热枪优点

  • 通过压缩尺寸配置最大限度地减少安装过程中的空间限制问题
  • 通过流动气体的温度管理实现高效的系统运行
  • 可根据安装位置定制

PMS 规格

Classification Item Description
共同项目 Power Single Phase 208 ~ 230 VAC. 50/60Hz
Temp. Control P.I.D Control (Sensor : K-Type)
N2 Pressure Source 5.0 kg/cm2 ↑
Material STS 316
小型 Operation Temp. Max. 200℃
N2 Flow Rate Max. 100 SLM
中型 Operation Temp. Max. 300℃
N2 Flow Rate Max. 500 SLM
大型 Operation Temp. Max. 200℃
N2 Flow Rate Max. 1,500 SLM